Письма ЖТФ, 2021, 47(6):23-25

Разработка системы низкопрофильного дефлектометра комбинированных систем сканирующей зондовой и оптической микроскопии

Разработана, изготовлена и испытана система низкопрофильного СЗМ-дефлектометра (СЗМ — сканирующая зондовая микроскопия), позволяющая повысить апертуру подводимых объективов до рекордной на данный момент величины NA = 0.75. Внедрение такой системы позволит существенно улучшить показатели оптических методик комбинированных систем СЗМ/оптическая микроспектроскопия.

IBCH: 9608
Ссылка на статью в журнале: https://journals.ioffe.ru/articles/50753
Нет данных о цитировании
Данные статьи проверены модераторами 2021-12-02

Список научных проектов, где отмечена публикация

  1. -Разработка инструментального метод наномасштабной объемной визуализации и спектрального анализа для применения в биомедицинских исследованиях - 3D TERS (January 6, 2018 — December 31, 2020). Mochalov K.E.. Grant, RSF.