Разработка системы низкопрофильного дефлектометра комбинированных систем сканирующей зондовой и оптической микроскопии
Разработана, изготовлена и испытана система низкопрофильного СЗМ-дефлектометра (СЗМ — сканирующая зондовая микроскопия), позволяющая повысить апертуру подводимых объективов до рекордной на данный момент величины NA = 0.75. Внедрение такой системы позволит существенно улучшить показатели оптических методик комбинированных систем СЗМ/оптическая микроспектроскопия.
Список научных проектов, где отмечена публикация
- Разработка инструментального метод наномасштабной объемной визуализации и спектрального анализа для применения в биомедицинских исследованиях - 3D TERS (6 Января 2018 года 31 Декабря 2020 года). . Грант, РНФ.